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开设课程 : 微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
培养目标:主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。
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